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SF₆氣體已有百年歷史，它是法國兩位化學家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性氣體，1940年前后，美國軍方將其用于曼哈頓計劃（核軍事）。

SF₆是強電負性氣體，它的分子極易吸附自由電子而形成質量大的負離子，削弱氣體中碰撞電離過程，因此其電氣絕緣強度很高，在均勻電場中約為空氣絕緣強度的2.5倍。SF₆氣體在t≈2000K時出現熱分解高峰，因此在交流電弧電流過零時，SF₆對弧道的冷卻作用比空氣強得多，其滅弧能力約為空氣的100倍。由于SF₆氣體具有優良的滅弧性能和絕緣性能以及良好的化學穩定性，它從20世紀50年代末開始被用作高壓斷路器的滅弧介質。在超高壓和特高壓斷路器中，SF₆作為滅弧介質，已取代油，并已大量取代了壓縮空氣。

從60年代中期起，SF₆被廣泛用作高壓電氣設備的絕緣介質。SF₆氣體絕緣的全封閉開關設備比常規的敞開式高壓配電裝置占地面積小得多，且其運行不受外界氣象和環境條件的影響，因此不僅廣泛用于超高壓和特高壓電力系統，而且已開始用于配電網絡(SF₆氣體絕緣的開關柜和環網供電單元)。SF₆氣體絕緣的管道輸電線的優點是介質損耗小、傳輸容量大，且可用于高落差場合，因此常用于水電站出線，取代常規的充油電纜。SF₆氣體絕緣的變壓器具有防火防爆的優點，這種配電變壓器特別適用于人口稠密的地區和高層建筑的供電。SF₆氣體絕緣的超高壓變壓器已研制成功，全氣體絕緣變電所將是變電技術發展的一個方向。