常用氣體純度以及雜質
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氣體名稱
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化學式
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純度(%)
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雜質(ppm)
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氦氣
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He
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99.995%
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CH4≤1 ,CO2≤1, Ne≤10, H2≤3, CO≤1, H20≤10
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99.999%
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O2≤1,CH4≤1, CO2≤0.5, Ne≤4 ,H2≤1, CO≤0.5 ,H2O≤3
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99.9995%
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O2≤0.5 ,CH4≤0.1, CO2≤0.2, Ne≤1, H2≤0.1, CO≤0.1 ,H2O≤1
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氬
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Ar
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99.99%
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O2≤10 ,THC≤10 ,N2≤50 ,H2≤5, H2O≤15
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99.999%
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O2≤2 ,THC≤2, N2≤5, H2≤1, H2O≤4
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99.9995%
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O2≤1, THC≤0.5, N2≤2, H2≤0.5, H2O≤1
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氫
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H2
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99.99%
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O2≤5 ,CO2≤5, N2≤60, CH4≤10 ,CO≤5, H2O≤30
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99.999%
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O2≤1 ,CO2≤1, N2≤5, CH4≤1 ,CO≤3 ,H2O≤1
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氮
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N2
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99.99%
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O2≤50 ,CO2≤10, H2≤10, CO≤5, H2O≤15, CH4≤5
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99.999%
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O2≤1 ,H2O≤2, H2≤1, HC≤3
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氧
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O2
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99.995%
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Ar≤20 ,CO2≤1, N2≤20, HC≤2
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二氧化碳
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CO2
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99.995%
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O2≤10, H2O≤5, N2≤20, CO≤1 ,HC≤10
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99.999%
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O2≤1,H2O≤2,N2≤5,CO≤1,HC≤1
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一氧化碳
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CO
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99.95%
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氮氣<350,氧氣<50,水<5
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二氧化硫
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SO2
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99.9%
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氧+氮<100,水<10,其他<200
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一氧化氮
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NO
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99.5%
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氧化亞氮<4000,二氧化氮<2000,氮氣<300,二氧化碳<500
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二氧化氮
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NO2
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99.9%
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氧化亞氮
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N2O
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99.99%
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氖
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Ne
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99.995%
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H2≤2 ,N2≤5, He≤40, THC≤1 ,O2+Ar≤2, H2O≤2
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99.999%
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O2≤1 ,N2≤5, H2O≤2 ,He≤10
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氪
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Kr
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99.999%
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N2≤2 ,H2≤0.5 ,O2+Ar≤1.5,H2O≤2, CO2≤0.4,CO≤0.3,CH4≤0.3
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氙
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Xe
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99.99%
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N2≤20, Ar≤10, N2O≤1 ,O2≤2 ,H2≤2 ,Kr≤50, H2O≤3 ,HC≤3
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99.998%
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N2≤3, THC≤1 ,N2O≤0.5, O2+Ar≤2 ,H2O≤2.6, H2≤0.5, Kr≤4
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硫化氫
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H2S
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99.9%
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氫氣<200ppm,氧氣+氮氣<100ppm,水<3ppm
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液氯
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Cl2
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99.9%
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二氧化碳<400,一氧化碳 <10,氫氣<200,氮氣<100,氧氣<20,水 <100
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氯氣
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Cl2
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99.999%
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氨
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NH3
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99.0%
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氧氣 <1.0ppm,氮氣 <2.0ppm,一氧化碳<1.0ppm,水<2.0ppm,THC(C1~C3) <1.0ppm
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99.999%
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六氟化硫
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SF6
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99.99%
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O2≤10 ,H20≤5, N4≤40, HF≤0.1, CF4≤25
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合成空氣
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Air
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O2:19.5～22.5%
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H2O≤5, CO/CO2≤0.5, THC≤5
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